洁净室的FFU过滤单元参考

iwuchen整理 2022-12-26

洁净度用每单位体积所含标准粒径的数值来表示。根据标准，标准粒径和单位体积会有所不同

洁净室HEPA和ULPA过滤器装置的优点（FFU）

· 这是一般工业用的洁净室器具，可应对HEPA ISO级5～9、ULPA ISO级3～6。

· 有100V, 200V电源规格。

· 排气口结净度为HEPAISO级5、ULPAISO级3。

· 风量的种类有HEPA1,3,5,10,15,25m3/min、ULPA2.5,4,7,13,20m3/min。

· 通过对预滤器进行标准安装来捕集粗尘，由此可延长HEPA或ULPA过滤器的更换时间。

· 表示“正在工作”的LED位于过滤器底面的中央部。可从外部目测确认其动作。（不含风量1系列）

HEPA和ULPA的标准

· 在JIS标准中，将在额定流量状态下，对粒径为0.3μm的粒子具有99.97％以上的粒子捕集率，且具有初始压力损失在245Pa以下的性能的过滤器，称为HEPA（High Efficiency Particulate Air）过滤器（高性能过滤器）。

· 此外，还将在额定流量状态下，对粒径为0.15μm的粒子，具有99.9995％以上的粒子捕集率，且具有初始压力损失在245Pa以下的性能的过滤器，称为ULPA（Ultra Low Penetration Air）过滤器（超高性能过滤器）。

HEPA和ULPA过滤器的选择方法

HEPA过滤器的选择以以下内容为大致标准。（使用美国联邦标准规定的级别标示）

100级：成为整个面层流的风量的装置

1000级：换气次数为80次的风量的装置

10000级：换气次数为50次的风量的装置

100000级：换气次数为20次的风量的装置

对于ULPA过滤器的选择，请设计成为整个面层流。

· 基于换气次数的洁净度级别的定义，归根结底只是一个大致标准而已。建议使用粒子计数器（HEPACT 刊载在互联网上），并根据实测值来规定洁净度级别的定义。

洁净度的标准

洁净度用每单位体积所含标准粒径的数值来表示。根据标准，标准粒径和单位体积会有所不同，敬请注意。
米思米的HEPA和ULPA过滤器的对象范围用下表中的阴影部分来表示。在部分半导体领域中，作为标准，用的是0.1μm/ft3。

安装示例

功能

异常检测功能

采用的是带电路保护器的开关。检测到过电流后，开关会强制性地变为“OFF”。此时，装置停止。需恢复时，请确认可安全地再次使用后，再按开关。

正在工作的标示功能

按开关后，清洁空气吹出面的高亮度LED运转显示灯亮灯。不希望显示灯亮灯时，将主过滤器卸下，然后再卸下设置在本体箱侧面上的显示灯用底座上的玻璃管熔丝，之后再行使用。（参照下图）风量1系列中，无显示灯。

维护和检查

外侧

· 用柔软的布干擦。（设置有洁净室时，最好使用起尘性较低的布。）

· 脏污严重时，请使用温水或中性洗涤剂。（设置有洁净室时，请使用纯净水或精制水。）

· 使用了中性洗涤剂后，务必要用含干净水的布拭去，并进行干擦。

主过滤器（HEPACF ）

· 对于主过滤器，随着尘埃的积聚，空气会变得难以通过，由此会使得风速和风量减少。

· 将成为1/2的状态设为一般寿命。不使用带过滤器网眼堵塞标示的开关装置时，对于主过滤器的大致更换时间，若是持续运转，在一般室内，约为1年；在ISO 7级（10,000级）的室内，约为5年。

预滤器

· 预滤器请进行定期清洁。

配线图

风量25系列符号和名称

SW	带电路保护器的开关（３A）	LED	高亮度发光二极管（红色）
FM1, 2	风扇电机	CN1, 2	风扇用连接器
C1, 2	电容器	CN3	显示灯用连接器
DC	DC电源底座（HD４０７７６１３）	CN4, 5	接地用连接器