适合工业应用的高性能真空泵

发布时间：2013-01-09

安捷伦科技公司(纽约证交所：A)今日宣布推出 MS-101 高性能真空泵，该产品是公司门类齐全的单级旋片泵(MS 系列)和罗茨真空泵组(RPS 系列)产品的最新成员。

该款新产品进一步完善了安捷伦适用于工业生产(如真空冶金和薄膜沉积)的产品体系。不论是小型还是中型真空室，MS-101 都能通过可控的环境提供最佳泵性能和通量，此外还具有高可靠性、耐久性和易于维护等特点。

安捷伦副总裁兼真空产品事业部总经理 Giampaolo Levi 说道：“对于 MS 系列产品来说，MS-101 的加入填补了适用于工业生产的小型到中型旋片泵的空白，在工业生产中，对真空室的体积和气体流量要求较低，但对真空度要求高。MS-101 进一步完善了 MS 产品系列，提供了较大抽速范围和出色性能，能够满足常规以及新兴工业生产的需求。”

MS 系列产品以众多大容量、单级、油润滑的旋片泵而著称。MS-101 耐用的设计和紧凑的尺寸使其成为工业应用(如氦气泄漏检测和电子束焊接)的理想之选。MS-101 以其无与伦比的性能领先于 100 m3/h 流量范围的旋片泵。

MS 系列的产品极好的补充了安捷伦扩散泵和涡旋分子泵的产品线，能够为工业生产提供完善、高性能的真空系统。