应用范围

设备适用于耐热材料的灭菌和除热源，如玻璃瓶、西林瓶、玻璃容器、金属容器、金属盘和设备部件等。

技术特点：

· 采用独特技术的真空密封，避免了任何可能产生对被处理产品的污染

· 工艺门带有双唇密封条，采用经过硅化处理的特殊密封垫，可形成真空，从而在每个循环过程中均能够保证室门的良好密封，这种设计避免了热和可能产生的污染

· 工艺室内主过滤器的密封采用真空密封，不用任何密封圈，没有任何颗粒产生，避免了任何可能产生的污染

· 主循环风机轴封采用真空密封，避免了任何可能产生的污染

· 工艺室内主过滤器的密封负压风机轴封采用真空密封，避免了任何可能产生的污染

· 设备进风系统、腔体内、排风系统均装有H13级高效过滤器，尘埃粒子拦截效率高达99.99%

· 腔体内壁层流板为特殊设计的微孔结构，空气温度均匀分布， 温差≦±5℃

· 自动控制的气动门锁联动装置

· 工艺室内压力与温度自动控制

· 可在线尘埃粒子验证测试;HEPA高效过滤器预留DOP验证口

结构特点：

· 工艺室具有双层底板，改善底部温度分布

· 工艺室、双扉门内侧、层流板均采用AISI316L 不锈钢材质

· 工艺室采用TIG焊接形式，圆角结构，抛光度≦0.5u

· 特殊的隔热技术，保证设备外表面温度≦室温+15℃

自动控制的气动门锁联动装置

工艺室内压力与温度自动控制

可在线尘埃粒子验证测试;HEPA高效过滤器预留DOP验证口

结构特点

工艺室具有双层底板，改善底部温度分布

工艺室、双扉门内侧、层流板均采用AISI316L 不锈钢材质

工艺室采用TIG焊接形式，圆角结构，抛光度≦0.5u

特殊的隔热技术，保证设备外表面温度≦室温+15℃