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洁净车间系统常见的几种形式

2024-12-24

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按照气流组织

单向流、非单向流

按技术下夹层

无下技术夹层、单技术夹层、双技术夹层

按空气搬送风机的布置

完全分散（ＦＦＵ）、相对集中（ＦＭＵ）、高度集中

按照设备布局方式

港湾式、大开间式

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净化间常见形式之一

上送侧回、无架空地板、温湿度控制通过空调机实现；造价低、噪音小但灵活性差。

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净化间常见形式之二

在方式一的基础上增加了下夹层，主要考虑设备配管配线的便利性和整体美观。

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净化间常见形式之三

上送上回，节约了回风夹道所占面积，主要实用于低级别的洁净室，自净时间会延长。

4

净化间常见形式之四

FFU+FCU的方式，低下夹层。

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净化间常见形式之五

特点：

① 设备间和作业间放置在不同的分区内

② 单夹层、集中送风、上夹层为静压箱

③ 净化间利用率偏低

④ 安全性上来说有利也有弊

⑤ 不利于设备布局的变化

6

净化间常见形式之六

特点：

① 双技术下夹层；FFU+CLEANBOOTH+SMIF方式

② 设备主体与辅助设备垂直放置

③ 作业层是大开间、增加设备布局变化的灵活性

责任编辑：邵丽竹

审　　核：何发

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