若真正实现了超净室压缩空气供与求的匹配，则超净室的使用者可以更好地掌控能源费用这盘棋

在超净室中，生产安全性和工艺过程安全性一般都是依靠保持规定的过压压力来保证的。利用流量传感器对超净室压缩空气的检测，可以在保证超净室所需压缩空气量的同时，明显地提高其能源利用率。

在超净室技术领域中，常常要用到压差检测技术和压力调节技术。这要求泄漏面积尽可能地小，并可以在加大压力差的超净室环境中补充少量的压缩空气，以达到所需的超压。一般规定的超压数值为5~20Pa，而这也恰恰是压差传感器能够可靠检测的工作压力范围。

为了保障超净室生产的安全、可靠，实践中使用的大多数都是中、高超压的超净室。在医药生产企业中，超净室的压差一般为15~30Pa。为了保持超压所需的压缩空气量所消耗的能源，在超净室压缩空气供应系统的能源需求中占了很大的比例。

如何节约电力能源

保持超净室空气量平衡的过程中，蕴含着巨大的节能潜力。如果把输送到超净室的压缩空气量减少50％，整个系统的超压只减少25％（超压比压缩空气流量为100％时减少到了75％），而所消耗的电力能源则减少12.5％。遗憾的是，这一研究成果带来的节约在超净室技术领域并没有得到推广和应用，因此造成了该领域过高的能源消耗。

这种节能方式要求超净室中的超压尽可能地在标准要求的最低界线附近运行，尽可能地减少向超净室输送的压缩空气量，空调设备的风机功率应合理地选择，并保证过滤空气的洁净度。上述条件在超净室不工作时，比如夜晚或者周末，都可以达到。即使是在工作日里，降低可控制的超净室压差这种做法也是可行的。

超净室工作的可靠性，即保证超净室稳定的工作状态，保证所需的压缩空气层流运动，这些是在降低超净室供气量时必须保证的。所采用的方法应符合有关技术标准的规定，必须清楚准确地检测数据，而且这些数据必须被记录下来。但以目前的技术发展水平，仅靠压差传感器是不能做到这些的。

精准的流量检测

作为技术补充，如果在超净室墙壁上开凿一个直径约50mm的流量检测仪安装孔，就有可能非常准确地对排出超净室的、具有超压压力的气体流量进行检测了。根据托里拆利定理，可以对超净室超压作用下过压气体的流速进行检测。

由Schmidt技术公司研发生产的SS 20.400型流量传感器能够在气体最小流速0.05m/s、气体压力差为0.01Pa时，结合使用压差传感器，准确地得出流量的检测数据。这样，安装在超净室墙壁溢流孔中的流量传感器，就能够在很小的压力差下可靠地检验气体的溢流，同时也有充足的余量，保证超净室内的压差符合标准规定的最低要求，从而明显地降低压缩空气的输送量。

气体流量双向检测

超净室技术领域中经常会遇到超净室压力下降的情况。在这种情况下，压力传感器不会发出报警提示，并且有可能因室外空气的进入而造成超净室的交叉污染。使用了流量检测传感器后，就能够及时检测出超净室内部的压力下降情况。附加安装一个流量传感器的好处，不仅仅在于能够提高准备超净室压缩空气的能源利用率，而且也辅助保障了超净室生产和操作人员的安全、健康。即使当压力传感器不显示压力值时，超净室气流的流动方向也在压力下降的检测中起到了关键性作用。当超净室气流从纯净区流向污染区时，超净室保护功能保障了药品安全。在可靠检测数据的保证下，尽管压力传感器发出了报警提示，但有些产品仍然可以确认为合格产品。

Schmidt公司研发生产的SS 20.400型流量传感器能够有效地保障这种安全性。它具有气体流量双向检测的能力，能够测定出当前的气体回流。该传感器由一个热电堆传感器，一个可加热并能够因流动空气而冷却的半导体元器件组成。

这种传感器能够对最小流速的气体进行检测，检测系统本身没有移动零部件，不会出现磨损，检查点处阻力很小，引起的压力降最小。除了这些优点之外，SS 20.400型流量检测传感器还具有并联连接两个半导体检测元件、可靠地测定流向一致性的特点。为了保护其不受机械负荷的损伤，传感器的元器件都安置在一个检测腔内，检测数据分析元器件也集成在传感器管中。由于无需单独的检测数据转换器，使得安装工作相对简单了不少。

符合经济性要求

Alko Therm公司提供的节能计算证明了该传感器的功能可靠性和节能潜力。在该公司典型超净室配置中，空调设备提供的压缩空气量为30000m3/h，循环空气量始终为20000m3/h，因此，排放到大气中的压缩空气量为10000m3/h。压缩空气准备系统中鼓风机的功率为20.8kW，排风机的功率为15.5kW。在这种情况下，进排风设备的能源消耗占整个能源消耗的57%。

在所有能源消耗中，一半以上是用于空气输送。仅在用气量少时，即非工作时间内减少输气，就大大地降低了能源消耗。根据Alko Therm公司的实践经验，在非工作时间里，所需的压缩空气量可减少到20000m3，循环空气量减少到15000m-3，真正补充的空气量为5000m3，能源消耗为，鼓风机功率12.2kW，排风机功率8.2kw。

5年内能耗减半

按照DIN V 18599-3标准和VDI 2067-1标准的经济性计算，可以推测出，5年内可把能源费用减半。空气流量检测设备（空气流速检测系统）的投资费用很低，而通过减少压缩空气的用量，能够大大地节约能源费用。这里还没有考虑其他在生产时间内由减少压缩空气使用而产生的节约。在考察压缩空气用量明显较大的串联式超净室时，估计还能得出更大的节约潜力。